Dispositivo ad alta frequenza per il trattamento delle superfici al plasma

■Funzionabilità e funzionalità
Il modello RF 13.56Mhz 0-1000W ad alta potenza viene fornito di serie con una macchina di pulizia al plasma dual-mode per DP e RIE, che può gestire processi più complessi
Dotato di manometro di ionizzazione come standard, visualizza il grado di vuoto in tempo reale, rendendo il controllo più preciso.
Controllo LCD touch screen, facile da usare e recuperare i dati.

■Sicurezza e protezione
L'attrezzatura standard è dotata di funzione di rilevamento di perdite di vuoto, che può controllare la situazione di vuoto e perdita dell'apparecchiatura secondo necessità.
Dotato di protezione contro perdite di sovracorrente, pompa di vuoto, generatore RF e dispositivi standard di protezione contro perdite di sovracorrente per tutte le parti dell'alimentazione elettrica.
Circuito di protezione del generatore: Quando si verificano problemi di sovraccarico o generatore RF, la frequenza può essere automaticamente ridotta per proteggere il generatore.
Interruttore della serratura della porta: L'alimentazione non può essere accesa quando la porta non è completamente chiusa.
Blocco del pannello laterale: Quando il pannello laterale del corpo si apre improvvisamente o non è chiuso correttamente, l'alimentazione si fermerà.
Il pulsante di arresto di emergenza (EMO) è attrezzatura standard.
Quando si verifica un'anomalia nel dispositivo, il dispositivo stesso emette un segnale di avvertimento ed esegue le seguenti azioni: 1) Chiudere la valvola principale. (2) Chiudere la valvola di alimentazione del gas. (3) Smettere di emettere l'oscillatore. (4) Fermare il tempo di elaborazione. (5) Allarme sonoro e luminoso

■Vantaggi del prodotto
La macchina di pulizia al plasma ha un buon effetto di pulizia, alta efficienza di pulizia, alta potenza e ampia gamma di applicazioni.
Elaborazione dual-mode DP&RIE, in grado di gestire processi più complessi.
Dotato di adattatore ad alta precisione e alimentatore RF ad alte prestazioni.
La struttura variabile dell'elettrodo migliora l'efficienza del trattamento del plasma.
Le misure di protezione della sicurezza sono complete, prevenendo efficacemente danni alla macchina e ai campioni.
Possiamo fornire servizi di prodotto personalizzati in base alle esigenze specifiche.


■ Disegni dei prodotti



■ Schema di installazione delle apparecchiature